产品描述
紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备,广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。
到样后7-10个工作日(可加急),根据样品及其检测项目/方法会有所变动,具体需咨询工程师。
1、 SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件
2、 SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法
3、 SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范
4、 SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
5、 SJ/T 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
6、 SJ/T 11079-1996 掩膜对准曝光机通用技术条件
自动曝光机、全自动曝光机、半自动曝光机、电子束曝光机、掩模对准曝光机、投影曝光机、彩膜曝光机、精密双面曝光机等。
外观质量、曝光能量、曝光强度、曝光分辨率、边缘粗糙度、图形精度、图形拼接精度、套刻精度、电子束流检测、扫描频率测试、移动速度检测、移动范围检测、工作温度等。
以上是有关曝光机检测的相关介绍,如有相关检测需求可以咨询实验室工程师帮您解答。清析技术研究院致力于产品研发、成分检测、成分分析、配方还原、未知物分析、材料化工检测等技术服务,实验室设施齐全,可提供CMA/CNAS资质检测报告。